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压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。


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