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按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
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(1)安装倾角(θ)。安装倾角指螺旋泵轴对水平面的夹角。它直接影响泵的效率和流量。据有关资料介绍，倾角每增加一度，效率大约降低3%。一般认为倾角在30°～40°为经济。(2)间隙。间隙指螺旋叶片与外壳之间的间隙。间隙越小，水漏损失就越小，泵的效率就越高。
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真空冷冻干燥真空冷冻干燥，SICK位移传感器，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。真空蒸镀在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。真空干燥利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。真空系统常用名称①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
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