特种气体 specialily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，特种气体生产厂家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。特种气体应用于国民经济的很多行业， 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展， 无论在气体品种上，特种气体，还是在数量上， 都以的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求。
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的性质，特种气体销售，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。CO2原料气中包含的大量烃、硫类杂质传统精馏无法去除，本公司经过多年潜心研究和多项实验，研发出的多元精馏添加剂打破了杂质共沸而无法除去的技术难题，使用精馏代替粗脱硫、水解、精脱硫、脱烃、二次脱水等多种工段，较传统工艺一次性投资降低 50%。特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。
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