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流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，云南进口流量计，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

质量流量控制法的配气装置

SSGM系列的配气装置采用质量流量控制法，经过持续不断的改进和创新，仪器性能及指标进一步提高，具有极高的灵敏度，很高的稳定性和适应力，可适应各种恶劣的工作条件。配气装置采用质量流量控制法，控制气体的进气量，结合本公司特有的新型计算方法，综合得出的一款全自动配气装置。质量流量控制装置在制造工艺中对供给的气体的质量流量进行控制等目的而被广泛使用。

质量流量控制装置(质量流量控制器)是至少包括测量流体的流量的流量计、控制流体的流量的流量控制阀、管路保护系统，压力测试装置等硬件部分，通过可编程控制器对流量计和流量控制阀进行控制的控制电路及其他零部件的控制设备。质量流量是一种保证监测数据准确可靠的方法，也是科学管理实验室和检测系统的有效措施，它可以保证数据质量，使流量的检测和控制建立在可靠的基础之上。

配气装置主要是针对实验室及各种环境下所需要的模拟气体成分。依据比例自行设置混合输出的装置。主要重要部件为质量流量控制器，利用其高精度、高准确性的特点，准确控制各个气体组成成分的输入量，经由设计及生产的混气腔室后输出。配气过程直观，调整便捷，为纯机器结构，使用寿命长，安全和可靠，体积小巧、重量轻，携带和使用方便，可实现双元或多元气体同步混合，混气过程复现性优良，比例稳定。

流量控制器在等离子清洗设备中的使用情况

在等离子清洗机中，一般会使用到微小流量的气体，对其进行离化，生成一种全新的物质状态——等离子状态。模拟型和数字型的气体质量流量控制器也在等离子清洗设备中广泛使用，设备对气体质量流量控制器的稳定性和重复性要求极高，耐压能达5Mpa，精度可达±1%F.S，重复性和线性精度稳定。

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质，对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。经济的发展，人们的生活水平不断提高，对消费品的质量要求也越来越高，等离子技术随之逐步进入生活消费品生产行业中；另外呢，科技的不断发展，各种技术问题的不断提出，进口流量计报价，新材料的不断涌现，越来越多的科研机构已认识到等离子技术的重要性，并投入大量资金进行技术攻关，进口流量计厂家，等离子技术在其中发挥了非常大的作用。

气体质量流量计是一款具有高精度的控制装置，通过新型算法及的自整定技术，实现较优控制，通过区间PID实现调节，采用数控技术，进口流量计哪家好，自动化程度高，具有强大的抗干扰性能，能有效避免电源干扰对通信信号的影响，实现稳定控制和测量。