




流量控制器的特点
地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% 量程比为-- 50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。
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流量控制器基本原理
通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件,其中一个作为温度检测,另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度,加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加,冷却效应越大,使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量,即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。
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流量控制器
选择产品和订货时应当注意
注意选择合适的响应时间指标
有的应用系统对MFC的响应时间有较高的要求,手持式流量计,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。
注意对安装位置有无要求
有的厂家的产品要求必须水平位置安装。
注意使用气体和适用范围
MFM/MFC 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(特别是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。
注意接头形式
通常有双卡套(Swagelok)和VCR两种接头可以选择, VCR接头性能更好适合于应用。
订货应注明:
产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(特别是腐蚀性气体)、接头形式和数量。

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