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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力,例如在同样温度下,有些反应过程在大气中则难以进行,但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。

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直联旋片真空泵的返油
(1)真空泵的止回阀未关好,停泵后,油位很快下降,可再开再停,pfeiffer真空泵维修,观察变化或拆开检查。
(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损,可进行调换。
(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整,可进行修整。
(4)真空泵的排气阀片损坏 ,应进行调换。
注:检查直联旋片真空泵的的极限真空,以压缩式shui银真空计为准
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广州潽拓光电科技有限公司——pfeiffer真空泵涡轮分子泵定期保养
定期保养
油旋片泵的泵油起到润滑、密封和冷却的作用,工艺气体中的粉尘,泵运转时磨损下来的金属碎屑会进入到泵油当中,pfeiffer真空泵无法启动,未成功排出的可凝蒸汽也会在冷凝后混合在泵油内,到达一定程度,就会带来泵油变色、乳化、润滑性能下降,所以需要定期更换泵油,有些旋片泵配置了专门的油过滤器,在更换泵油时也要一并更换。更换泵油的频率取决于实际的工艺和泵油的种类,一般建议每半年到1年要更换一次。

涡轮分子泵特点
抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单
工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~超高真空
极限真空:10/ 10torr
缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高

有大量粉尘的应用一定要加装粉尘过滤器
在粉尘量较大的应用中,清远pfeiffer真空泵,应加装进气口粉尘过滤器,以防止粉尘吸入。否则,大量的粉尘进入泵腔,将造成泵腔严重磨损,使整台泵失去维修价值。
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真空通常由抽气机获得,其气体稀薄度用真空计测量。利用分子和扩散式气体抽提器可以获得大气压为1×10-14pa的高真空度。真空技术广泛应用于芯片制造、太阳能电池制造、光学薄膜制造、电真空仪器、电子管等电子仪器中。

Pfeiffer普发 HiPace 1500U涡轮分子泵维修,Pfeiffer HiPace 1500U普发涡轮分子泵进气法兰口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/DN250 CF-F,出气法兰口DN40 ISO-KF,抽速可达到1100L/s - 1450 L/s,转速为37800rpm,极限压力1X10-8 mbar,对应的控制器为:Pfeiffer TC1200等。

干式螺旋真空泵是一种较新的阿特拉斯真空泵系列下的设备,具有可靠性高、寿命长、动平衡性能好、适应性强、多相混输等特点。它能去除腐蚀性、有毒、含尘气体和可冷凝蒸汽等气体。干泵有着广泛的应用,包括半导体工业、化学工业、薄膜工业等,这三个行业的需求是推动干式泵市场的主要动力。在欧美半导体行业,约有一半的企业采用干式真空泵代替油封式机械泵。我国半导体行业主要采用进口干式泵。因此,应加强国产干式真空泵的研发,使之成为我国真空行业新的经济增长点。
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