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高真空机组

①选好主泵，主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)

超高真空机组

主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

①扩散泵机组：降低返流、控制污染;

②分子泵机组：对氢压缩比小，残余气体主要是氢;

③溅射离子泵机组：通常与钛泵联合使用;

④低温泵机组：无污染。

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涡轮分子泵性能

泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为10~10;对氢为10~10;对分子量大的气体如油蒸气则大于10。

泵的极限压力为10Pa，工作压力范围为10~10Pa，抽气速率为几十到几千升每秒(1L=10m)。

涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面zui大尺寸的流态)下工作才能显示出它的性，因此要求配有工作压力为1~10Pa的前级真空泵。

分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。

不要长时间在高压力下工作

包括油旋片真空泵在内的好多粗真空泵都可以从大气压直接启动，但不代表它们可以长期在大气压或者比较差的真空下工作。旋片真空泵长时间在比较差的真空度下工作时，大量的润滑油会以油雾甚至油滴的形式从排气口喷出，造成·泵油损失；另外，真空度比较差时，真空泵发热也会比较严重。

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常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中不可少的主力泵种。近年来， 伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，普发二手泵TPD022多少钱，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

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在某些快速循环的系统中，也没有足够的时间，使涡轮分子泵在每一个循环周期内，由于时间短来不及达到正常的运转速度。在这种情况下，就不能随工作循环去周期性地开启涡轮分子泵。此时涡轮分子泵就不得不连续的运转，前级泵粗抽真空室，很快就能达到涡轮分子泵的启动压力，就可以很快打开主阀，涡轮分子泵可以在相对高的压力下工作(节约了时间)也可使粗抽管道返流降到*低程度。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护

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