洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,半导体净化工程施工,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,半导体净化工程工程,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,半导体净化工程,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。










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洁净厂房也叫无尘车间、洁净室(Clean Room),是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。


洁净厂房测试应按工程验收阶段分段进行。竣工验收阶段的检测是确认各项设施符合工程设计和合同的要求;功能验收阶段的检测是确认各项设施均能有效、可靠的运行;使用验收阶段的检测是按建设方规定的生产工艺和“动态”活动要求,确认各项设施的有效、可靠的运行。
目前,我们的技术和工艺已广泛应用于卫生、食品工业、电子工业、化装工业、光纤、航空、饮料、食品、医院手术室、生物化验室、动物实验室等各种科技领域。
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