设计条件(设计参数):洁净车间温度要求20℃~25℃;湿度要求45%~65%;洁净要求10000级。厂房平面布置:空调末端采用高效过滤器;洁净空调机设在模条房,楼板承重必须符合设备运行负荷要求。a、洁净区域:洁净车间洁净度1万级面积约110m2;洁净前区设人员换鞋区、更衣室、风淋室等,隔离外界污染。洁净区人员流动方向:换鞋、一次更衣---风淋室---洁净车间。在净化车间设安全门,便於人员疏散。(进入风淋室前需作一道空气过滤)洁净区物料流动方向:传递窗---洁净车间---传递窗---其它工序;b、其它区域:由甲方自行负责,不在本设计方案范围内。









在上述众多的施工安装工程中,除了工期紧迫、交叉施工多、工序组织难度高外,更要遵循洁净室内的建造管理原则,因此,除非由具有丰富经验的管理团队来担任此艰巨任务,否则是难以圆满完成的。作为置放生产机台主体的洁净室,其在整体工程的重要性不言而喻,做好洁净室的施工管理,就等于为未来生产的顺利成功打下了坚实的基础。

和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,集成电路净化车间工程,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。

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