在上述众多的施工安装工程中,除了工期紧迫、交叉施工多、工序组织难度高外,净化工程设计,更要遵循洁净室内的建造管理原则,因此,除非由具有丰富经验的管理团队来担任此艰巨任务,否则是难以圆满完成的。作为置放生产机台主体的洁净室,半导体净化工程设计,其在整体工程的重要性不言而喻,做好洁净室的施工管理,就等于为未来生产的顺利成功打下了坚实的基础。









净化方案一:组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口:这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二:水冷柜机+增压风柜+高效送风口:与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

和其他产业不同,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,从单晶硅片制造,光电显示净化工程设计,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。

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