氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，汽车空调检漏，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，，不腐蚀零件；
因此，电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高，氦质谱正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气，置入封闭容器中，将封闭容器与氢质谱检漏仪连通，待氦质谱检漏仪指示可检时，被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。氦质谱负压检漏法，将被检件装在氦质谱检漏仪上，对被检件抽真空，当达到检漏仪的开检压力后，对被检件漏点处喷氦气，氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室，氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率
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