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磁悬浮分子泵是利用磁轴承产生电磁力使转轴处于无接触的悬浮状态,其悬浮状态的获得需要以转轴位置为基准实施磁轴承输出电磁力的控制.
磁悬浮分子泵的应用:
1、高技术产业工艺,
2、国famg核xin器件
3、jian端科研仪器等超高真空应用领域
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