ICPMS电感耦合
ICP-MS所用电离源是感应耦合等离子体(ICP)，它与原子发射光谱仪所用的ICP是一样的，高分辨电感耦合等离子体质谱仪，其主体是一个由三层石英套管组成的炬管，炬管上端绕有负载线圈，三层管从里到外分别通载气，辅助气和冷却气，负载线圈由高频电源耦合供电，产生垂直于线圈平面的磁场。如果通过高频装置，则离子和电子在电磁场作用下又会与其它原子碰撞产生更多的离子和电子，形成涡流。强大的电流中产生高温，瞬间形成温度可达10000k的等离子焰炬。样品由载气带入等离子体焰炬会发生蒸发、分解、激发和电离。
ICP-MS
由于在速度、灵敏度、动态范围和元素测量范围中的优势而处于的地位。能够快速测量高浓度的元素(ppb到ppm级)的特点使其成为AES的可行的替代方法。同时ICP-MS在许多痕量和超痕量元素测定中超越了石墨炉原子吸收光谱法(GFAAS)的检出能力(ppt级)。 ICP-MS能测量几乎所有的样品，并且实现了一次采集完成多元素同时测定，同时提供同位素的信息。形态分析是ICP-MS发展快的领域之一，高分辨电感耦合等离子体质谱仪生产厂家，即色谱技术与ICP-MS的联用。其中ICP-MS作为检测器测定样品中元素的化学价态。这些性能有助于实现ICP-MS在所有领域的广泛应用，而且确立了ICP-MS在痕量金属检测技术中的重要地位。
电感耦合作用
电感耦合等离子体质谱仪中等离子体炬的作用与ICP-AES中的作用有所不同。在铜线圈中输入高频电流中产生强的磁场，高分辨电感耦合等离子体质谱仪厂家，同时在同心行英管(炬管)沿炬管切线方向输入流速大约为15L/min的气体，高分辨电感耦合等离子体质谱仪生产厂家，磁场与气体的相互作用形成等离子体。当使用高电压电火花产生电子源时，这些电子就像种子一样会形成气体电离的效应，在炬管的开口端形成一个温度非常高(大约10000K)的等离子体放电。
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