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多轴磁力轴承系统用于在运行期间将转子维持在悬浮状态,消除了传统机械轴承因为被工艺气体污染而导致机械轴承损坏 的风险,同时将噪声和振动降至较低。
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涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

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