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受激发的样品中的每一种元素会出二次X射线（又叫X荧光），并且不同的元素所出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些出来的二次X射线的能量及数量或者波长。
根据物质的光谱来鉴别物质及确定它的化学组成和相对含量的方法叫光谱分析．其优点是灵敏，迅速．历曾通过光谱分析发现了许多新元素，如铷，铯，氦等．根据分析原理光谱分析可分为发射光谱分析与吸收光谱分析二种；根据被测成分的形态可分为原子光谱分析与分子光谱分析。光谱分析的被测成分是原子的称为原子光谱，EDX-6000D 能量色散X荧光测金仪，被测成分是分子的则称为分子光谱。中文名光谱分析外文名Spectral analysis发现者牛顿发现手段三棱镜优 点灵敏，迅速分 类原子光谱分析与分子光谱分析
当具有高能量的入射（一次）X射线与原子发生碰撞时，会打破（待测样品的）原子结构的稳定性。处于低能量电子壳层（如：K层）的电子更容易被激发而从原子中逐放出来，电子的逐放会导致该电子壳层出现相应的电子空位，这时处于高能量电子壳层的电子（如：L层）会跃迁到该低能量电子壳层来补充相应的电子空位。由于不用电子壳层之间存在着能量差距，这些能量上的差以二次X射线的形式释放出来.
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