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除前级真空侧无油外，无磨损和免维护是另一个优势。在停电的情况下，通过泵的旋转能量为磁轴承供电。这使得停电?可以很容易地桥接数分钟。如果停电持续时间较长，通过使?用集成的安全轴承，转子将以非常低的速度安全停止。在系?统故障期间，安全轴承关闭转子，以避免对泵造成任何损坏。
电动机/驱动器?
能够提供旋转频率高达?1，500?Hz?(90，000?rpm)?的无刷直流电?动机用于驱动转子。这使得叶片速度是泵送气体所必需的。
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旋片式真空泵的工作原理 在气镇操作的情况下，普发分子泵控制器报警代码，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧的密封吸入室。因此，在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始冷凝前排出置换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力，高于无气镇操作所达到的压力。 工作液、油 泵油，也成为工作液，在旋片式真空泵种泵油有多个任务要求执行。它润滑所有移动部件，填充的出口 阀下的固定空间以及缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工作室之间的间隙，普发分子泵控制器，此外还通过热传递确保jia温度平衡。
多级泵
旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现相对更低的极限压力。此外，气镇对极限的影响较低，因为气镇仅允许在高压力级使用。
真空安全阀
根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。真空安全阀在有意或意外停顿的情况下
将泵与真空室隔离，并使用置换气体对泵系统进行排气，普发分子泵控制器报故障，防止油液上升到真空室中。在开启泵后，一旦泵中
的压力已达到真空室中的近似压力，它稍作延迟就打开。
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