检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）。
测试时，将定量的氦气喷吹在怀疑可能泄漏的部位，通过观察检漏仪上的漏率显示来确定该部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系统比较庞杂，家电行业氦检漏厂，影响真空的因素多，对此我们在试验前，应先根据真空严密性的试验情况、相关系统及设备的运行情况、机组的检修情况等进行了解分析，初步判断真空泄漏可能发生的设备或系统管道的位置。然后，在试验过程中先对重点怀疑泄漏部位进行检查，再对其他部位按照分系统、分段、逐个设备部件进行排查。
外漏主要是渗漏，主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低- -侧的介质中，系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性，还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。为了避免外漏的发生，需要对板片和板片的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处进行氦质谱检漏。
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