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真空泵保养明细如下：

1.更换常规耗材。比如油雾分离器，叶片等安捷伦真空泵配件；特别是油雾分离器，在出现问题时一定要及时的更换。更换方法较简单只需打开端盖替换油雾分离器，注意安装是否到位。

2.换油。将长期使用过的安捷伦真空泵油更换，清理油箱、缸体内的污垢和渣滓，保证安捷伦真空泵的正常运转和真空度的稳定性！

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分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

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