ICP-MS
由于在速度、灵敏度、动态范围和元素测量范围中的优势而处于的地位。能够快速测量高浓度的元素(ppb到ppm级)的特点使其成为AES的可行的替代方法。同时ICP-MS在许多痕量和超痕量元素测定中超越了石墨炉原子吸收光谱法(GFAAS)的检出能力(ppt级)。 ICP-MS能测量几乎所有的样品，并且实现了一次采集完成多元素同时测定，同时提供同位素的信息。形态分析是ICP-MS发展快的领域之一，即色谱技术与ICP-MS的联用。其中ICP-MS作为检测器测定样品中元素的化学价态。这些性能有助于实现ICP-MS在所有领域的广泛应用，而且确立了ICP-MS在痕量金属检测技术中的重要地位。
电感耦合等离子质谱仪
ICP-MS仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，与发射光谱中使用的基本相同。所使用的质量分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆GC-MS仪器相类似。质量分析器多采用四极杆质谱计，也有采用具有高分辨的双聚焦扇形磁场质谱计、飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；线性范围可达7～9个数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于元素分析，还可进行同位素组成的快速测定；测定精密度(RSD)可到0.1%。
电感耦合
炬管通常是垂直放置的，等离子体激发基态原了的电了至较高能级，当较高能级的电子“落回”基态时，国产电感耦合等离子体质谱仪，就会发射出某一待测元素的特定波长的光子。在电感耦合等离子体质谱仪中，国产电感耦合等离子体质谱仪生产厂家，等离子体炬管都是水平放置的，用于产生带正电荷的离子，而不是光子。实际上，电感耦合等离子体质谱仪分析中要尽可能阻止光子到达检测器，因为光子会增加信号的噪声。
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