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Edwards nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,潮州进口爱德华真空泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,进口爱德华旋片真空泵,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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Edwards 爱德华STP-iXA2205C磁悬浮分子泵维修
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品牌:EDWARDS爱德华 型号STP-iXA2205C
材质:不锈钢 原理:真空泵
真空度高:真空度 驱动方式:电动
功率:3306kw 极限压力:0-7 Pa-10-9 Pa
抽速可达到2200 L/s 泵轴位置:边立式

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