氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，，不腐蚀零件；
真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格，家电行业氦检漏厂，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
整体油箱采用整体设计、整体装配，即将整体壁板、梁以及肋采用高锁螺栓进行连接，内部肋开有通孔，机翼前后梁不开孔，高锁螺栓的夹层处涂密封胶使之密封，形成一一个密封的翼盒。在实际生产中，由于各种不确定的因素，使得一些螺栓和夹层处的密封性达不到要求，因而存在漏油的现象。为了解决这- -问题， 有必要对油箱进行密封性检测，找出准确的漏点并加以修补。
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