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   涡轮分子泵是获取高真空的一个重要设备，被广泛应用于高真空场合。相较于传统滚珠及油膜轴承，德国莱宝二手进口泵维护，电磁轴承作为一种新型轴承，因其非接触、无摩擦、低功耗、维护成本低、动力学可控并可对转子动不平衡进行主动控制等特殊优点，在工业应用上前景广阔。对真空设备而言，非接触悬浮是很有吸引力的。电磁轴承应用于涡轮分子泵，可实现分子泵的无油、无磨损运行，运行安静，振动很小，尤其适合半导体工业等超净高真空应用场合。在此，将介绍2000 L 五自由度磁轴承涡轮分子泵样机研究进展，重点关注磁悬浮分子泵试验研究中遇到的各种复杂振动抑制问题。这些振动问题由各种因素所导致，包括泵转子的弯曲模态振动，陀螺效应造成的转子动力学失稳，泵叶轮上叶片的颤振及一个由转子与分子泵永磁电机共同导致的复杂振动模态。这些因素同时出现，并且均能对泵转子的稳定性造成破坏，必须在磁轴承控制器设计中同时解决，给控制器的设计带来大的困难。

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图片中的Leybold NT10分子泵电源，有人称之为Leybold NT10分子泵控制器，专门用于：

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结构组成：涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子（即动叶轮）、静叶轮和驱动系统等组成。

工作原理：

 主要有立式和卧式两种。

动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙，动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

特点：抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围：清洁的低真空~中、高真空，大气~超高真空极限真空：10-6/ 10-10torr

缺点：结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高