在半导体工业中，高纯氦气用作生长锗和硅晶体的保护气。某些混合气的底气、清洗、屏蔽和加压系统的惰性气体；气相色谱载气；在生产象钛和锫那样的活性金属时用作保护气；电弧焊接的保护气；在原子能反应堆中作为气体的冷却介质；在航天技术上，液氦加注系统的真空管路、贮槽、槽车以及火箭贮箱中的空气必须首先用高纯氮气置换，合格后用高纯氦气置换，氧气供应商，分析合格后用高纯氦密封；还可用作火箭的挤压气源及姿态控制发动机用气源。
工业气体的应用：工业气体用量正在掘起的产业有：煤矿灭火、石油开采、煤气化和煤液化，玻璃熔化炉、水泥生产窑、耐火材料生产窑，氧气厂家，砖瓦窑等工业炉窑、食品速冻，芜湖氧气，食品气调包装、啤酒保鲜、光学、工业中的燃料、超导材料生产、电子、半导体、光纤生产、农业、畜牧业、鱼业、废水处理、漂白纸浆、垃圾焚烧、粉碎废旧轮胎等环保产业、建筑、气象、文化、体育运动、保健产业中的冷刀、重危吸氧、高压氧冶疗、人体器管低温冷藏及氧吧等。
工业气体的发展历史，英格兰化学家DanielRutherford在1772年把氮分离出来，为工业气体行业奠定了发展基JosephPriestley以及CarlWil helmScheele也在1776年分离出来了氧气。氧气起初用于医学领域，然后在19世纪末开始进入焊接的商业用途。工业加工领域广泛使用气体的潮流由此开始。1877年发明了分馏的加工方法，这次大量生产气体不用再花费巨资。迅速发展的工业化，两次，在20世纪中期大大推动了工业气体需求的增长。
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