特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。气体产品大致可以分为两大类别， 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。
特种气体的储存注意事项：为防止高压容器跌倒、滚落、损坏、阀门泄漏等造成安全隐患，存放场地需平坦，特种工业气体，操作需谨慎、轻柔；并用链条、绳索等将其固定在靠墙等坚固位置。特种气体的重要性：正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大，应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与可靠性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“血液”。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类，特种气体，电子特种气体（简称电子特气）是特种气体的 一个重要分支，是超大规模集成电路（IC）、平面显示器件（LCD、LED、OLED）、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。
特种气体是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。作为基础化工材料，特种气体随着新产品技术的发展，应用范围越来越广泛。特种气体兴起于60年代中期，作为基础化工材料，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、临床诊断、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，工业特种气体，其应用范围也越来越广泛。特种气体应用于国民经济的很多行业， 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展， 无论在气体品种上，还是在数量上， 都以的速度发展， 生产的品种基本上满足了市场的需求。
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